クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究

このアイテムのアクセス数:329件（2018-12-18 00:25 集計）

このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:http://hdl.handle.net/11094/102

ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
24946_要旨	pdf	766 KB	32	要旨/Abstract
24946_論文	pdf	10.2 MB	26,288	論文/Dissertation

タイトル	クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究
タイトル (ヨミ)	クリーンルームニオケルセイジョウカンキョウノイジノタメノシツアツセッケイセイギョホウホウニカンスルケンキュウ
著者	山口, 太朗山口, 太朗
著者 (ヨミ)	ヤマグチ, タロウ
キーワード等	室圧
	クリーンルーム
	外乱
	清浄度
	制御
	空気調和
著者所属研究科	工学
専攻	環境・エネルギー工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2011-09-20
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第15243号
学位記番号	24946
URL	http://hdl.handle.net/11094/102
言語	日本語

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究
DC.creator	山口, 太朗
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/102
DC.subject	室圧
	クリーンルーム
	外乱
	清浄度
	制御
	空気調和
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2011-09-20
citation_title	クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究
citation_author	山口, 太朗
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/102
citation_keywords	室圧
	クリーンルーム
	外乱
	清浄度
	制御
	空気調和
citation_date	2011-09-20