クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究

山口, 太朗

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/102

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
24946_Abstract	pdf	なし	766 KB	249	2017.02.22	要旨/Abstract
24946_Dissertation	pdf	なし	10.2 MB	45,574	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究
タイトル	クリーンルームニオケルセイジョウカンキョウノイジノタメノシツアツセッケイセイギョホウホウニカンスルケンキュウ
著者	著者名山口, 太朗 ; ヤマグチ, タロウ
キーワード等	室圧
	クリーンルーム
	外乱
	清浄度
	制御
	空気調和
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2011-09-20
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	環境・エネルギー工学
学位授与番号	甲第15243号
学位記番号	24946
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/102
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2011年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2011年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2011, 博士論文
DC.title	クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究
DC.title	クリーンルームニオケルセイジョウカンキョウノイジノタメノシツアツセッケイセイギョホウホウニカンスルケンキュウ
DC.creator	山口, 太朗
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DC.subject	室圧
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	清浄度
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2011-09-20
DC.format	102
citation_title	クリーンルームにおける清浄環境の維持のための室圧設計・制御方法に関する研究
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