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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
ltc125-16	pdf	なし	1.12 MB	2,556	2012.09.22

論文情報

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タイトル	大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発
	タイキアツ プラズマ CVD ホウ ニヨル キノウ ハクマク ノ チョウ コウソク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ
著者	NRID 1000010233660 1000010233660 researchmap permalink read0014012 read0014012 Scopus Author ID 7005118424 7005118424 著者名 垣内, 弘章 ; カキウチ, ヒロアキ
	NRID 1000000335382 1000000335382 researchmap permalink read0076337 read0076337 Scopus Author ID 6701717242 6701717242 著者名 大参, 宏昌 ; オオミ, ヒロマサ
	NRID 1000080166503 1000080166503 著者名 安武, 潔 ; ヤスタケ, キヨシ
	NRID 1000030029152 1000030029152 著者名 芳井, 熊安 ; ヨシイ, クマヤス
	NRID 1000090152008 1000090152008 researchmap permalink endo5352 endo5352 Scopus Author ID 7402712908 7402712908 著者名 遠藤, 勝義 ; エンドウ, カツヨシ
	NRID 1000000029125 1000000029125 著者名 森, 勇蔵 ; モリ, ユウゾウ
内容	研究ノート
出版者	大阪大学低温センター
	オオサカダイガク テイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻(号)	125
ページ	16-22
刊行年月	2004-01
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/11726
PISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	大阪大学低温センターだより / No.125 (2004-01)

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