大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
ltc125-16	pdf	1.12 MB	2,376

タイトル	大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発
タイトル (ヨミ)	タイキアツプラズマ CVD ホウニヨルキノウハクマクノチョウコウソクケイセイギジュツノカイハツ
著者	垣内, 弘章垣内, 弘章
	大参, 宏昌大参, 宏昌
	安武, 潔安武, 潔
	芳井, 熊安芳井, 熊安
	遠藤, 勝義遠藤, 勝義
	森, 勇蔵森, 勇蔵
著者 (ヨミ)	カキウチ, ヒロアキ
	オオミ, ヒロマサ
	ヤスタケ, キヨシ
	ヨシイ, クマヤス
	エンドウ, カツヨシ
	モリ, ユウゾウ
内容	研究ノート
公開者	大阪大学低温センター
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクテイオンセンター
掲載誌名	大阪大学低温センターだより
巻	125
開始ページ	16
終了ページ	22
刊行年月	2004-01
ISSN	03874419
NCID	AN00030246
URL	http://hdl.handle.net/11094/11726
言語	日本語
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.125 (2004-01)

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより.125 P.16-P.22
DC.title	大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発
DC.creator	垣内, 弘章
	大参, 宏昌
	安武, 潔
	芳井, 熊安
	遠藤, 勝義
	森, 勇蔵
DC.publisher	大阪大学低温センター
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2004-01
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/11726
DC.description	研究ノート
citation_title	大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発
citation_author	垣内, 弘章
	大参, 宏昌
	安武, 潔
	芳井, 熊安
	遠藤, 勝義
	森, 勇蔵
citation_publisher	大阪大学低温センター
citation_language	日本語
citation_date	2004-01
citation_journal_title	大阪大学低温センターだより
citation_volume	125
citation_firstpage	16
citation_lastpage	22
citation_issn	03874419
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/11726