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2022-08-11
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ltc125-16
pdf
1.12 MB
2,376
論文情報
タイトル
大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発
タイトル (ヨミ)
タイキアツ プラズマ CVD ホウ ニヨル キノウ ハクマク ノ チョウ コウソク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ
著者
垣内, 弘章
垣内, 弘章
大参, 宏昌
大参, 宏昌
安武, 潔
安武, 潔
芳井, 熊安
芳井, 熊安
遠藤, 勝義
遠藤, 勝義
森, 勇蔵
森, 勇蔵
著者 (ヨミ)
カキウチ, ヒロアキ
オオミ, ヒロマサ
ヤスタケ, キヨシ
ヨシイ, クマヤス
エンドウ, カツヨシ
モリ, ユウゾウ
内容
研究ノート
公開者
大阪大学低温センター
公開者 (ヨミ)
オオサカダイガク テイオンセンター
掲載誌名
大阪大学低温センターだより
巻
125
開始ページ
16
終了ページ
22
刊行年月
2004-01
ISSN
03874419
NCID
AN00030246
URL
http://hdl.handle.net/11094/11726
言語
日本語
カテゴリ
紀要論文 Departmental Bulletin Paper
大阪大学低温センターだより / No.125 (2004-01)
論文詳細を表示
著者版フラグ
publisher
NII資源タイプ
紀要論文
ローカル資源タイプ
紀要論文
dcmi資源タイプ
text
DCTERMS.bibliographicCitation
大阪大学低温センターだより.125 P.16-P.22
DC.title
大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発
DC.creator
垣内, 弘章
大参, 宏昌
安武, 潔
芳井, 熊安
遠藤, 勝義
森, 勇蔵
DC.publisher
大阪大学低温センター
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2004-01
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/11726
DC.description
研究ノート
citation_title
大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発
citation_author
垣内, 弘章
大参, 宏昌
安武, 潔
芳井, 熊安
遠藤, 勝義
森, 勇蔵
citation_publisher
大阪大学低温センター
citation_language
日本語
citation_date
2004-01
citation_journal_title
大阪大学低温センターだより
citation_volume
125
citation_firstpage
16
citation_lastpage
22
citation_issn
03874419
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/11726