集積回路製造プロセスシミュレーション技術に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
07400_要旨	pdf	169 KB	35	要旨/Abstract
07400_論文	pdf	7.07 MB	433	論文/Dissertation

タイトル	集積回路製造プロセスシミュレーション技術に関する研究
タイトル (ヨミ)	シュウセキカイロセイゾウプロセスシミュレーションギジュツニカンスルケンキュウ
著者	谷口, 研二谷口, 研二
著者 (ヨミ)	タニグチ, ケンジ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1986-07-03
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第03947号
学位記番号	07400
URL	http://hdl.handle.net/11094/119
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1986年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1986年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	集積回路製造プロセスシミュレーション技術に関する研究
DC.creator	谷口, 研二
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/119
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1986-07-03
citation_title	集積回路製造プロセスシミュレーション技術に関する研究
citation_author	谷口, 研二
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/119
citation_date	1986-07-03