電子・イオン・光ビームを用いた半導体集積回路の故障解析に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
12111_要旨	pdf	104 KB	40	要旨/Abstract
12111_論文	pdf	5.58 MB	66	論文/Dissertation

タイトル	電子・イオン・光ビームを用いた半導体集積回路の故障解析に関する研究
タイトル (ヨミ)	デンシイオンヒカリビームヲモチイタハンドウタイシュウセキカイロノコショウカイセキニカンスルケンキュウ
著者	二川, 清二川, 清
著者の別表記	Nikawa, Kiyoshi
著者 (ヨミ)	ニカワ, キヨシ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1995-10-04
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第06725号
学位記番号	12111
URL	http://hdl.handle.net/11094/1340
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3108039

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	電子・イオン・光ビームを用いた半導体集積回路の故障解析に関する研究
DC.creator	二川, 清
DC.creator	Nikawa, Kiyoshi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1340
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1995-10-04
DC.identifier	info:doi/10.11501/3108039
citation_title	電子・イオン・光ビームを用いた半導体集積回路の故障解析に関する研究
citation_author	二川, 清
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1340
citation_date	1995-10-04
citation_doi	info:doi/10.11501/3108039