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2018-04-27
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https://doi.org/10.11501/3144193
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13557_要旨
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47
要旨/Abstract
13557_論文
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9.19 MB
69
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
イオンビームスパッタ法によるPb系強誘電体薄膜の形成およびその機能性デバイス応用に関する研究
タイトル (ヨミ)
イオンビームスパッタホウ ニヨル Pbケイ キョウユウデンタイ ハクマク ノ ケイセイ オヨビ ソノ キノウセイ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者
神野, 伊策
神野, 伊策
著者の別表記
Kanno, Isaku
著者 (ヨミ)
カンノ, イサク
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1998-02-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第07439号
学位記番号
13557
URL
http://hdl.handle.net/11094/184
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3144193
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
イオンビームスパッタ法によるPb系強誘電体薄膜の形成およびその機能性デバイス応用に関する研究
DC.creator
神野, 伊策
DC.creator
Kanno, Isaku
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/184
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1998-02-25
DC.identifier
info:doi/10.11501/3144193
citation_title
イオンビームスパッタ法によるPb系強誘電体薄膜の形成およびその機能性デバイス応用に関する研究
citation_author
神野, 伊策
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/184
citation_date
1998-02-25
citation_doi
info:doi/10.11501/3144193