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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
13557_Abstract	pdf	なし	181 KB	86	2014.08.04	要旨/Abstract
13557_Dissertation	pdf	なし	9.19 MB	100	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	イオンビームスパッタ法によるPb系強誘電体薄膜の形成およびその機能性デバイス応用に関する研究
	イオンビームスパッタホウ ニヨル Pbケイ キョウユウデンタイ ハクマク ノ ケイセイ オヨビ ソノ キノウセイ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000070346039 1000070346039 著者名 神野, 伊策 ; カンノ, イサク ; Kanno, Isaku
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1998-02-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第07439号
学位記番号	13557
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/184
DOI	https://doi.org/10.11501/3144193
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1997年度
	博士論文 / その他 / 1997年度

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