ようこそ ゲスト さん
雑誌ブラウズ
雑誌 全て
大阪大学 刊行物
ランキング
アクセスランキング
ダウンロードランキング
博士論文のみをさがす
このアイテムのアクセス数:
51
件
(
2021-01-26
21:59 集計
)
このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:
https://doi.org/10.11501/3132543
このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:http://hdl.handle.net/11094/2136
閲覧可能ファイル
ファイル
フォーマット
サイズ
閲覧回数
説明
13354_論文
pdf
17.1 MB
136
論文/Dissertation
13354_要旨
pdf
111 KB
35
要旨/Abstract
論文情報
タイトル
陰影領域回折干渉現象の解析と微細形状情報計測への応用
タイトル (ヨミ)
インエイ リョウイキ カイセツ カンショウ ゲンショウ ノ カイセキ ト ビサイ ケイジョウ ジョウホウ ケイソク ヘノ オウヨウ
著者
金井, 徳兼
金井, 徳兼
著者 (ヨミ)
カナイ, ノリカネ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1997-07-07
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第07272号
学位記番号
13354
URL
http://hdl.handle.net/11094/2136
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3132543
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1997年度
博士論文 / その他 / 1997年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
陰影領域回折干渉現象の解析と微細形状情報計測への応用
DC.creator
金井, 徳兼
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2136
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1997-07-07
DC.identifier
info:doi/10.11501/3132543
citation_title
陰影領域回折干渉現象の解析と微細形状情報計測への応用
citation_author
金井, 徳兼
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2136
citation_date
1997-07-07
citation_doi
info:doi/10.11501/3132543