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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
05176_Dissertation	pdf	なし	16.8 MB	10,609	2014.11.17	論文/Dissertation
05176_Abstract	pdf	なし	167 KB	313	2014.08.04	要旨/Abstract

論文情報

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タイトル	薄膜の内部応力に関する研究
	ハクマク ノ ナイブ オウリョク ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000000093419 1000000093419 著者名 生地, 文也 ; ショウジ, フミヤ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1981-02-27
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第02595号
学位記番号	05176
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2289
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1980年度
	博士論文 / その他 / 1980年度

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