陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
22939_要旨	pdf	780 KB	17	要旨/Abstract
22939_論文	pdf	9.07 MB	436	論文/Dissertation

タイトル	陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究
タイトル (ヨミ)	ヨウデンシ　ショウメツホウ　ニヨル　LSI　ハイセン　ザイリョウチュウ　ノ　クウコウガタ　ケッカン　ニカンスル　ケンキュウ
著者	藪内, 敦藪内, 敦
著者 (ヨミ)	ヤブウチ, アツシ
キーワード等	陽電子
	格子欠陥
	空孔
	LSI
	Cu配線
	リフロー
著者所属研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2009-03-24
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第13428号
学位記番号	22939
URL	http://hdl.handle.net/11094/23490
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2008年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2008年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究
DC.creator	藪内, 敦
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/23490
DC.subject	陽電子
	格子欠陥
	空孔
	LSI
	Cu配線
	リフロー
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2009-03-24
citation_title	陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究
citation_author	藪内, 敦
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	格子欠陥
	空孔
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	Cu配線
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citation_date	2009-03-24