陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究

藪内, 敦

アクセス数:117件（2025-07-10 00:16 集計）

固定URL: https://hdl.handle.net/11094/23490

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
22939_Abstract	pdf	なし	780 KB	65	2017.02.22	要旨/Abstract
22939_Dissertation	pdf	なし	9.07 MB	932	2013.01.31	論文/Dissertation

タイトル	陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究
タイトル	ヨウデンシ　ショウメツホウ　ニヨル　LSI　ハイセン　ザイリョウチュウ　ノ　クウコウガタ　ケッカン　ニカンスル　ケンキュウ
著者	著者名藪内, 敦 ; ヤブウチ, アツシ
キーワード等	陽電子
	格子欠陥
	空孔
	LSI
	Cu配線
	リフロー
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2009-03-24
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位授与番号	甲第13428号
学位記番号	22939
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/23490
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2008年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2008年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2009, 博士論文
DC.title	陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究
DC.title	ヨウデンシ　ショウメツホウ　ニヨル　LSI　ハイセン　ザイリョウチュウ　ノ　クウコウガタ　ケッカン　ニカンスル　ケンキュウ
DC.creator	藪内, 敦
DC.creator	ヤブウチ, アツシ
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DC.subject	陽電子
	格子欠陥
	空孔
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2009-03-24
DC.format	23490
citation_title	陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究
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citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/23490
citation_date	2009-03-24