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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
22939_Abstract	pdf	780 KB	22	2017.02.22	要旨/Abstract
22939_Dissertation	pdf	9.07 MB	597	2013.01.31	論文/Dissertation

論文情報

タイトル	陽電子消滅法によるLSI配線材料中の空孔型欠陥に関する研究
	ヨウデンシ　ショウメツホウ　ニヨル　LSI　ハイセン　ザイリョウチュウ　ノ　クウコウガタ　ケッカン　ニカンスル　ケンキュウ
著者	著者名 藪内, 敦 ヤブウチ, アツシ
キーワード等	陽電子
	格子欠陥
	空孔
	LSI
	Cu配線
	リフロー
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2009-03-24
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位授与番号	甲第13428号
学位記番号	22939
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/23490
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2008年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2008年度

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