多結晶シリコン薄膜トランジスタの研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
08464_要旨	pdf	205 KB	31	要旨/Abstract
08464_論文	pdf	8.83 MB	69	論文/Dissertation

タイトル	多結晶シリコン薄膜トランジスタの研究
タイトル (ヨミ)	タケッショウシリコンハクマクトランジスタノケンキュウ
著者	松井, 誠松井, 誠
著者の別表記	Matui, Makoto
著者 (ヨミ)	マツイ, マコト
学位名	工学博士
学位授与年月日	1989-02-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第04645号
学位記番号	08464
URL	http://hdl.handle.net/11094/2457
言語	日本語

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	多結晶シリコン薄膜トランジスタの研究
DC.creator	松井, 誠
DC.creator	Matui, Makoto
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DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2457
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1989-02-28
citation_title	多結晶シリコン薄膜トランジスタの研究
citation_author	松井, 誠
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2457
citation_date	1989-02-28