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2022-06-29
10:17 集計
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19512_要旨
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要旨/Abstract
19512_論文
pdf
8.59 MB
7,556
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究
タイトル (ヨミ)
ゴクウス ゲート ゼツエンマク ヲ ユウスル ハンドウタイ デバイス ノ シンライセイ ニ カンルス ケンキュウ
著者
細井, 卓治
細井, 卓治
著者の別表記
Hosoi, Takuji
著者 (ヨミ)
ホソイ, タクジ
著者所属研究科
工学
専攻
電子情報エネルギー工学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2005-03-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第10519号
学位記番号
19512
URL
http://hdl.handle.net/11094/257
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2004年度
博士論文 / 工学研究科 / 2004年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究
DC.creator
細井, 卓治
DC.creator
Hosoi, Takuji
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/257
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2005-03-25
citation_title
極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究
citation_author
細井, 卓治
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/257
citation_date
2005-03-25