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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
19512_Abstract	pdf	なし	132 KB	115	2014.06.09	要旨/Abstract
19512_Dissertation	pdf	なし	8.59 MB	9,508	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究
	ゴクウス ゲート ゼツエンマク ヲ ユウスル ハンドウタイ デバイス ノ シンライセイ ニ カンルス ケンキュウ
著者	NRID 1000090452466 1000090452466 著者名 細井, 卓治 ; ホソイ, タクジ ; Hosoi, Takuji
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2005-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電子情報エネルギー工学
学位授与番号	甲第10519号
学位記番号	19512
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/257
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2004年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2004年度

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