極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
19512_要旨	pdf	132 KB	64	要旨/Abstract
19512_論文	pdf	8.59 MB	6,348	論文/Dissertation

タイトル	極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究
タイトル (ヨミ)	ゴクウスゲートゼツエンマクヲユウスルハンドウタイデバイスノシンライセイニカンルスケンキュウ
著者	細井, 卓治細井, 卓治
著者の別表記	Hosoi, Takuji
著者 (ヨミ)	ホソイ, タクジ
著者所属研究科	工学
専攻	電子情報エネルギー工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2005-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第10519号
学位記番号	19512
URL	http://hdl.handle.net/11094/257
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2004年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2004年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究
DC.creator	細井, 卓治
DC.creator	Hosoi, Takuji
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/257
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2005-03-25
citation_title	極薄ゲート絶縁膜を有する半導体デバイスの信頼性に関する研究
citation_author	細井, 卓治
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/257
citation_date	2005-03-25