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23807_Abstract pdf なし 341 KB 56 2017.02.22 要旨/Abstract
23807_Dissertation pdf なし 15.5 MB 934 2012.09.22 論文/Dissertation

論文情報

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タイトル
ナノ座標測定における光放射圧マイクロプローブに関する研究
DEVELOPMENT OF LASER TRAPPING BASED MICROPROBE SYSTEM FOR NANOCOORDINATE METROLOGY
ナノザヒョウ ソクテイ ニオケル ヒカリ ホウシャアツ マイクロプローブ ニカンスル ケンキュウ
著者
NRID
1000070588855 1000070588855
著者名
道畑, 正岐 ; ミチハタ, マサキ ; Michihata, Masaki
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2010-03-23
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
機械工学
学位授与番号
甲第14226号
学位記番号
23807
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/2849
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2009年度
博士論文 / 工学研究科 / 2009年度