DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
12643_要旨	pdf	129 KB	53	要旨/Abstract
12643_論文	pdf	13.4 MB	1,081	論文/Dissertation

タイトル	DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
タイトル (ヨミ)	DC アークプラズマジェット CVDホウニヨルダイヤモンドハクマクノコウソクゴウセイニカンスルケンキュウ
著者	比嘉, 晃比嘉, 晃
著者 (ヨミ)	ヒガ, アキラ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-06-27
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第06975号
学位記番号	12643
URL	http://hdl.handle.net/11094/345
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3113114

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
DC.creator	比嘉, 晃
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/345
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1996-06-27
DC.identifier	info:doi/10.11501/3113114
citation_title	DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
citation_author	比嘉, 晃
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citation_date	1996-06-27
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