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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
12643_Abstract	pdf	なし	129 KB	76	2014.08.04	要旨/Abstract
12643_Dissertation	pdf	なし	13.4 MB	1,789	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
	DC アークプラズマジェット CVDホウ ニヨル ダイヤモンド ハクマク ノ コウソク ゴウセイ ニカンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000050228699 1000050228699 著者名 比嘉, 晃 ; ヒガ, アキラ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-06-27
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06975号
学位記番号	12643
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/345
DOI	https://doi.org/10.11501/3113114
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1996年度
	博士論文 / その他 / 1996年度

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