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(
2022-07-03
23:09 集計
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https://doi.org/10.11501/3113114
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12643_要旨
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54
要旨/Abstract
12643_論文
pdf
13.4 MB
1,563
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
タイトル (ヨミ)
DC アークプラズマジェット CVDホウ ニヨル ダイヤモンド ハクマク ノ コウソク ゴウセイ ニカンスル ケンキュウ
著者
比嘉, 晃
比嘉, 晃
著者 (ヨミ)
ヒガ, アキラ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1996-06-27
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第06975号
学位記番号
12643
URL
http://hdl.handle.net/11094/345
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3113114
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1996年度
博士論文 / その他 / 1996年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
DC.creator
比嘉, 晃
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/345
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1996-06-27
DC.identifier
info:doi/10.11501/3113114
citation_title
DCアークプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速合成に関する研究
citation_author
比嘉, 晃
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/345
citation_date
1996-06-27
citation_doi
info:doi/10.11501/3113114