先端物理解析技術を用いた半導体デバイスの解析に関する研究

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固定URL: https://doi.org/10.18910/34567

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
26715_Abstract	pdf	なし	155 KB	199	2014.05.27	要旨/Abstract
26715_Dissertation	pdf	なし	11.5 MB	2,894	2014.05.27	論文/Dissertation

タイトル	先端物理解析技術を用いた半導体デバイスの解析に関する研究
タイトル	センタン　ブツリ　カイセキ　ギジュツ　ヲ　モチイタ　ハンドウタイ　デバイス　ノ　カイセキ　ニ　カンスル　ケンキュウ
著者	NRID 1000020315310 1000020315310 著者名工藤, 修一 ; クドウ, シュウイチ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2014-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	情報科学
専攻	情報システム工学
学位授与番号	甲第16885号
学位記番号	26715
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/34567
DOI	https://doi.org/10.18910/34567
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 情報科学研究科 / 2013年度
カテゴリ	博士論文 / 情報科学研究科 / 2013年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2014, 博士論文
DC.title	先端物理解析技術を用いた半導体デバイスの解析に関する研究
DC.title	センタン　ブツリ　カイセキ　ギジュツ　ヲ　モチイタ　ハンドウタイ　デバイス　ノ　カイセキ　ニ　カンスル　ケンキュウ
DC.creator	工藤, 修一
DC.creator	クドウ, シュウイチ
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2014-03-25
DC.identifier	10.18910/34567
DC.format	application/pdf
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citation_author	工藤, 修一
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citation_date	2014-03-25
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