Characterization of Semiconductor Devices and Thin Dielectric Films by Scanning Capacitance Microscopy with Self-Sensing Conductive Probe

内藤, 裕一

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21985_Abstract pdf なし 605 KB 134 2014.08.19 要旨/Abstract  

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タイトル
Characterization of Semiconductor Devices and Thin Dielectric Films by Scanning Capacitance Microscopy with Self-Sensing Conductive Probe
自己検出型導電性プローブを用いた走査型容量顕微鏡による半導体デバイスおよび薄膜誘電体材料の局所電気特性評価に関する研究
著者
著者名
内藤, 裕一 ; ナイトウ, ユウイチ
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2008-03-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
生命先端工学
学位授与番号
甲第12588号
学位記番号
21985
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/48635
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 2007年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.