High Rate Zinc Oxide Film Deposition by Atmospheric TPCVD Using Ar/Air Plasma Jets

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
jwri37_01_033	pdf	276 KB	77

タイトル	High Rate Zinc Oxide Film Deposition by Atmospheric TPCVD Using Ar/Air Plasma Jets
著者	ANDO, Yasutaka ANDO, Yasutaka
	KOBAYASHI, Akira KOBAYASHI, Akira
	TOBE, Shogo TOBE, Shogo
	TAHARA, Hiorokazu TAHARA, Hiorokazu
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	37
号	1
開始ページ	33
終了ページ	37
刊行年月	2008-07
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/6123
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.37(1) P.33-P.37
DC.title	High Rate Zinc Oxide Film Deposition by Atmospheric TPCVD Using Ar/Air Plasma Jets
DC.creator	ANDO, Yasutaka
	KOBAYASHI, Akira
	TOBE, Shogo
	TAHARA, Hiorokazu
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2008-07
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/6123
citation_title	High Rate Zinc Oxide Film Deposition by Atmospheric TPCVD Using Ar/Air Plasma Jets
citation_author	ANDO, Yasutaka
	KOBAYASHI, Akira
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	TAHARA, Hiorokazu
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
citation_language	英語
citation_date	2008-07
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	37
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