後方パルスレーザ堆積法におけるレーザ誘起プルーム挙動に依存したナノ柱状構造体創製に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
31473_Abstract	pdf	330 KB	13
31473_Dissertation	pdf	8.12 MB	68

タイトル	後方パルスレーザ堆積法におけるレーザ誘起プルーム挙動に依存したナノ柱状構造体創製に関する研究
タイトル (ヨミ)	コウホウパルスレーザタイセキホウニオケルレーザユウキプルームキョドウニイゾンシタナノチュウジョウコウゾウタイソウセイニカンスルケンキュウ
著者	神田, 和輝神田, 和輝
著者 (ヨミ)	コウダ, カズキ
著者所属研究科	工学
専攻	機械工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2020-09-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第21097号
学位記番号	31473
URL	http://hdl.handle.net/11094/77488
言語	日本語
DOI	info:doi/10.18910/77488
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2020年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2020年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	後方パルスレーザ堆積法におけるレーザ誘起プルーム挙動に依存したナノ柱状構造体創製に関する研究
DC.creator	神田, 和輝
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/77488
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2020-09-25
DC.identifier	info:doi/10.18910/77488
citation_title	後方パルスレーザ堆積法におけるレーザ誘起プルーム挙動に依存したナノ柱状構造体創製に関する研究
citation_author	神田, 和輝
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citation_date	2020-09-25
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