固定URL: https://doi.org/10.18910/89476

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
32889_Abstract	pdf	なし	311 KB	248	2022.11.08
32889_Dissertation	pdf	なし	10.1 MB	1,448	2022.11.08

論文情報

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タイトル	低抵抗・低転位密度GaNウェハの実用化に向けた酸化物気相成長法に関する研究
	テイテイコウ・テイテンイミツドGaNウェハノジツヨウカニムケタサンカブツキソウセイチョウホウニカンスルケンキュウ
著者	著者名 滝野, 淳一 ; タキノ, ジュンイチ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2022-04-30
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電気電子情報工学
学位授与番号	甲第22319号
学位記番号	32889
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/89476
DOI	https://doi.org/10.18910/89476
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2022年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2022年度

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