固定URL: https://doi.org/10.18910/89620

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
33033_Abstract	pdf	なし	211 KB	128	2022.11.08
33033_Dissertation	pdf	なし	20.4 MB	852	2022.11.08

論文情報

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タイトル	Molecular Dynamics simulations of surface atomic processes in ion-beam and plasma etching
	イオンビームおよびプラズマエッチングにおける表面原子過程の分子動力学シミュレーション
	イオンビームオヨビプラズマエッチングニオケルヒョウメンゲンシカテイノブンシドウリキガクシミュレーション
著者	著者名 Mauchamp, Aini Nicolas ; モーシャン, アイニ ニコラ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2022-09-22
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位授与番号	甲第22456号
学位記番号	33033
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/89620
DOI	https://doi.org/10.18910/89620
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2022年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2022年度

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