数値制御プラズマCVMによる次世代超薄膜SOIウエハの製作

佐野, 泰久; 山村, 和也; 遠藤, 勝義他

大阪大学低温センターだより, 2004, 125, 11-15

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/8970

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
ltc125-11	pdf	なし	748 KB	264	2012.09.22

タイトル	数値制御プラズマCVMによる次世代超薄膜SOIウエハの製作
タイトル	スウチセイギョプラズマ CVM ニヨルジセダイチョウハクマク SOI ウエハノセイサク
著者	NRID 1000040252598 1000040252598 ORCID 0000-0002-1767-922X 0000-0002-1767-922X researchmap permalink read0042804 read0042804 Scopus Author ID 7402344818 7402344818 著者名佐野, 泰久 ; サノ, ヤスヒサ
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	NRID 1000000029125 1000000029125 著者名森, 勇蔵 ; モリ, ユウゾウ
内容	研究ノート
出版者	大阪大学低温センター
出版者	オオサカダイガクテイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻(号)	125
ページ	11-15
刊行年月	2004-01
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/8970
PISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.125 (2004-01)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより. 2004, 125, p. 11-15
DC.title	数値制御プラズマCVMによる次世代超薄膜SOIウエハの製作
DC.title	スウチセイギョプラズマ CVM ニヨルジセダイチョウハクマク SOI ウエハノセイサク
DC.creator	佐野, 泰久
	サノ, ヤスヒサ
	山村, 和也
	ヤマムラ, カズヤ
	遠藤, 勝義
	エンドウ, カツヨシ
	森, 勇蔵
	モリ, ユウゾウ
DC.publisher	大阪大学低温センター
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2004-01
DC.description	研究ノート
DC.format	8970
citation_title	数値制御プラズマCVMによる次世代超薄膜SOIウエハの製作
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