ブリルアン振動を用いた酸化物薄膜の弾性定数測定と組織評価

舎川, 知広; 荻, 博次; 中村, 暢伴 他

日本機械学会論文集A編, 2009, 75(749), 72-78

Number of Access:1,384（2025-11-25 02:18 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://hdl.handle.net/11094/2917

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Title
ブリルアン振動を用いた酸化物薄膜の弾性定数測定と組織評価
Elastic Constant and Microstructure of Oxide Thin Films Studied by Brillouin Oscillation
ブリルアン シンドウ ヲ モチイタ サンカブツ ハクマク ノ ダンセイ テイスウ ソクテイ ト ソシキ ヒョウカ
Creator
CreatorName
舎川, 知広 ; シャガワ, トモヒロ ; Shagawa, Tomohiro
NRID
1000090252626 1000090252626
researchmap permalink
read0042771 read0042771
Scopus Author ID
35563683500 35563683500
ORCID
0000-0002-9602-5194 0000-0002-9602-5194
CreatorName
荻, 博次 ; オギ, ヒロツグ ; Ogi, Hirotsugu
NRID
1000050452404 1000050452404
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nnakamura nnakamura
Scopus Author ID
7403356186 7403356186
ORCID
0000-0002-5338-842X 0000-0002-5338-842X
CreatorName
中村, 暢伴 ; ナカムラ, ノブトモ ; Nakamura, Nobutomo
NRID
1000080112027 1000080112027
CreatorName
平尾, 雅彦 ; ヒラオ, マサヒコ ; Hirao, Masahiko
CreatorName
小高, 秀文 ; オダカ, ヒデフミ ; Odaka, Hidefumi
CreatorName
木原, 直人 ; キハラ, ナオト ; Kihara, Naoto
Subject
Nondestructive Inspection
Elasticity
Reliability
Micromechanics
Brillouin Oscillation
Sound Velocity
Oxide Thin Films
Publisher
社団法人日本機械学会
シャダンホウジン ニホン キカイ ガッカイ
THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS
Source Title
日本機械学会論文集A編
Volume (Issue)
75(749)
Page
72-78
Date of Issued
2009-01
Language
Japanese
Handle URL
https://hdl.handle.net/11094/2917
PISSN
03875008
NCID
AN0018742X
Access Rights
open access
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Version of Record
Category
学術雑誌論文 Journal Article