プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究

山村, 和也

Number of Access:632（2025-10-27 10:17 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://doi.org/10.11501/3184384

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15854_Abstract pdf None 145 KB 165 2014.08.04 要旨/Abstract  
15854_Dissertation pdf None 24.1 MB 243 2012.09.22 論文/Dissertation  

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Title
プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究
プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウセイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
Creator
NRID
1000060240074 1000060240074
researchmap permalink
read0014013 read0014013
Scopus Author ID
7201754767 7201754767
CreatorName
山村, 和也 ; ヤマムラ, カズヤ ; Yamamura, Kazuya
Degree Name
博士（工学）
Date of Granted
2001-01-29
Grantor
Osaka University
Grant ID
乙第08178号
Description Number
15854
Language
Japanese
Handle URL
https://hdl.handle.net/11094/306
DOI
https://doi.org/10.11501/3184384
Access Rights
open access
oaire:version
Version of Record
Category
Doctoral Thesis with Full Text / / 2000
Doctoral Thesis / / 2000