大気圧プラズマCVDによる太陽電池用アモルファスSiの高速成膜に関する研究

垣内, 弘章

Number of Access:463（2025-10-08 11:21 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://doi.org/10.11501/3184347

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15834_Abstract pdf None 154 KB 171 2014.08.04 要旨/Abstract  
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Title
大気圧プラズマCVDによる太陽電池用アモルファスSiの高速成膜に関する研究
タイキアツ プラズマ CVD ニヨル タイヨウ デンチヨウ アモルファスSi ノ コウソク セイマク ニ カンスル ケンキュウ
Creator
NRID
1000010233660 1000010233660
researchmap permalink
read0014012 read0014012
Scopus Author ID
7005118424 7005118424
CreatorName
垣内, 弘章 ; カキウチ, ヒロアキ ; Kakiuchi, Hiroaki
Degree Name
博士（工学）
Date of Granted
2001-01-29
Grantor
Osaka University
Grant ID
乙第08158号
Description Number
15834
Language
Japanese
Handle URL
https://hdl.handle.net/11094/315
DOI
https://doi.org/10.11501/3184347
Access Rights
open access
oaire:version
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Category
Doctoral Thesis with Full Text / / 2000
Doctoral Thesis / / 2000