SEMを用いたLSI微細構造計測のための統計的画像処理法に関する研究

御堂, 義博

Number of Access:813（2025-10-20 14:24 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://hdl.handle.net/11094/46638

Link to primary information 

File Format Terms of use Size Views Date.Available Description information
20487_Abstract pdf None 125 KB 136 2014.08.05 要旨/Abstract  

Item Information

Output File Export EndNote Basic Export Mendeley

Title
SEMを用いたLSI微細構造計測のための統計的画像処理法に関する研究
Creator
NRID
1000000448094 1000000448094
ORCID
0000-0003-3164-2180 0000-0003-3164-2180
researchmap permalink
read0105639 read0105639
Scopus Author ID
6508174028 6508174028
CreatorName
御堂, 義博 ; ミドウ, ヨシヒロ
Degree Name
博士（情報科学）
Date of Granted
2006-03-24
Grantor
Osaka University
Faculty
情報科学
Specialty
情報システム工学
Grant ID
甲第11329号
Description Number
20487
Handle URL
https://hdl.handle.net/11094/46638
Access Rights
open access
Category
Doctoral Thesis / Graduate School of Information Science and Technology / 2005
Note
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.