エッジ・ロールオフ抑制に有効な研磨パッドの開発に関する研究

佐竹, うらら

Number of Access:349（2025-07-17 02:28 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://hdl.handle.net/11094/55939

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28334_Abstract pdf None 93.0 KB 309 2016.04.26  

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Title
エッジ・ロールオフ抑制に有効な研磨パッドの開発に関する研究
エッジロールオフヨクセイニユウコウナケンマパッドノカイハツニカンスルケンキュウ
Creator
NRID
1000070828409 1000070828409
researchmap permalink
su0413 su0413
Scopus Author ID
37102491700 37102491700
CreatorName
佐竹, うらら ; サタケ, ウララ
Degree Name
博士（工学）
Date of Granted
2016-03-28
Grantor
Osaka University
Faculty
工学
Specialty
機械工学
Grant ID
甲第18408号
Description Number
28334
Language
Japanese
Handle URL
https://hdl.handle.net/11094/55939
Access Rights
open access
Category
Doctoral Thesis / Graduate School of Engineering / 2015
Note
やむを得ない事由があると学位審査研究科が承認したため、全文に代えてその内容の要約を公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available due to an unavoidable reason which was accepted by the degree-awarding graduate school. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.