Preparation of Si-microspikes by Electrochemical Etching and Field Emission Characteristics from Diamond particles on the Si-microspikes prepared by Plasma CVD

Ohtsuka, Keisuke; Moritani, Akihiro; Ojima, Masayoshi et al.

電気材料技術雑誌, 2008, 17, 44-51

Number of Access:515（2025-09-02 13:02 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://hdl.handle.net/11094/76850

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Title
Preparation of Si-microspikes by Electrochemical Etching and Field Emission Characteristics from Diamond particles on the Si-microspikes prepared by Plasma CVD
シリコンマイクロスパイクの電気化学的エッチングによる作製とプラズマCVDで作製されたマイクロスパイク上のダイヤモンドからの電界電子放出特性
Creator
CreatorName
Ohtsuka, Keisuke ; 大塚, 恵祐
CreatorName
Moritani, Akihiro ; 森谷, 明弘
CreatorName
Ojima, Masayoshi ; 尾島, 正禎
NRID
1000050204186 1000050204186
ORCID
0000-0002-9556-4225 0000-0002-9556-4225
researchmap permalink
read0014092 read0014092
Scopus Author ID
55490143900 55490143900
CreatorName
Ozaki, Masanori ; 尾崎, 雅則
NRID
1000070029205 1000070029205
CreatorName
Yoshino, Katsumi ; 吉野, 勝美
Subject
Si
microspikes
diamond
field emission
シリコン
マイクロスパイク
ダイヤモンド
電界放出
Abstract
Sharp needle-like Si-microspikes array was prepared on Si surface electrochemically by anodization. Tops of Si-microspikes were covered with diamond particles by plasma chemical vapor deposition with CH4 /H2 gas. Field emission characteristics from the Si-microspikes, and from diamond particles on Si flat surfaces and on the Si-microspikes were clarified. The diamond particles on the Si-microspikes gave the lowest threshold voltage for the field emission among them.
シリコン表面を電気化学的に陽極酸化することによって，鋭い針状のシリコンマイクロスパイク列を作製した。このシリコンマイクロスパイクの先端にメタン・水素混合ガスを用いたプラズマCVD法でダイヤモンド粒子を形成した。シリコンマイクロスパイク、平坦シリコン基板に形成したダイヤモンド及びシリコンマイクロスパイクの先端に載せたダイヤモンドからの電界電子放出特性を明らかにした。これらの試料においてマイクロスパイク上のダイヤモンドが最も低い閾電圧を示した。
Publisher
電気材料技術懇談会
デンキ　ザイリョウ　ギジュツ　コンダンカイ
Source Title
電気材料技術雑誌
Journal of the Society of Electrical Materials Engineering
Volume (Issue)
17
Page
44-51
Date of Issued
2008-11-25
Language
English
Handle URL
https://hdl.handle.net/11094/76850
PISSN
09189890
NCID
AN10426571
Access Rights
open access
oaire:version
Version of Record
Category
本学関連学会 Related Societies
Journal of the Society of Electrical Materials Engineering / vol.17