電子ビーム励起ドライエッチングに関する研究

渡部, 平司

Number of Access:698（2025-08-18 23:05 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://doi.org/10.11501/3075209

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11098_Abstract pdf None 151 KB 148 2014.08.04 要旨/Abstract  
11098_Dissertation pdf None 5.80 MB 243 2012.09.22 論文/Dissertation  

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Title
電子ビーム励起ドライエッチングに関する研究
デンシビーム レイキ ドライエッチング ニ カンスル ケンキュウ
Creator
NRID
1000090379115 1000090379115
ORCID
0000-0002-7916-3093 0000-0002-7916-3093
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heijiw heijiw
Scopus Author ID
7410305922 7410305922
CreatorName
渡部, 平司 ; ワタナベ, ヘイジ ; Watanabe, Heiji
Degree Name
博士（工学）
Date of Granted
1994-02-18
Grantor
Osaka University
Grant ID
乙第06221号
Description Number
11098
Language
Japanese
Handle URL
https://hdl.handle.net/11094/2100
DOI
https://doi.org/10.11501/3075209
Access Rights
open access
oaire:version
Version of Record
Category
Doctoral Thesis with Full Text / / 1993
Doctoral Thesis / / 1993