数値制御プラズマCVMによる次世代超薄膜SOIウエハの製作

佐野, 泰久; 山村, 和也; 遠藤, 勝義 他

大阪大学低温センターだより, 2004, 125, 11-15

Number of Access:1,1232025-08-16 14:45 Counts

Identifier to cite or link to this item: https://hdl.handle.net/11094/8970

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ltc125-11 pdf None 748 KB 275 2012.09.22  

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